반도체재료연구실(Semiconductor Materials Lab)

  • 반도체산업에 필요한 차세대 소재,공정,장비를 연구개발하고 있습니다. 특히 절연박막 및 배선소재의 원자층 증착(ALD)과 원자층 에칭(ALE)을 중점적으로 연구중이며, 산업계와 긴밀히 협력하고 있습니다.
    R&D of materials, processes, and equipment for the next-generation semiconductor devices.
연구실 충812
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