차세대 반도체 공정 연구실 
- 우리 연구실에서는 차세대 반도체 소자 제작을 위해 필수적인 초미세 박막 증착 및 식각 기술을 연구하고 있습니다.
(Thermal atomic layer deposition & atomic layer etching)
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| 연구실 | 집910 |
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